ISO 14644: Опубликованные стандарты за 2015 г.
|
ДОКУМЕНТ |
|
|
ЗАГОЛОВОК |
СТАТУС |
ОПИСАНИЕ |
|
ISO 14644-1 |
|
|
Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц |
Стандарт ANSI (Американский национальный институт стандартов) от 2015 г. |
Классификация чистоты воздуха в чистых помещениях и контролируемых средах |
|
|
|
Мониторинг чистоты воздуха путем обнаружения концентрации частиц в чистом помещении |
Стандарт ANSI от 2015 г. |
Требования к мониторингу и периодическому контролю чистого помещения или чистой зоны с целью подтверждения их постоянного соответствия стандарту ISO 14644-1 |
|
|
ISO 14644-3 |
|
|
Методы испытания |
Стандарт ANSI от 2005 г. |
Определяет методы испытаний для классификации чистоты частиц в воздухе в чистых помещениях и чистых зонах |
|
ISO 14644-4 |
|
|
Проектирование, строительство и запуск |
Стандарт ANSI от 2001 г. |
Требования к проектированию и строительству установок в чистых помещениях |
|
ISO 14644-5 |
|
|
Эксплуатация |
Стандарт ANSI, август 2004 г. |
Основные требования к эксплуатации чистых помещений |
|
ISO 14644-7 |
|
|
Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения) |
Стандарт ANSI, ноябрь 2004 г. |
Минимальные требования к проектированию, строительству, установке, испытанию и утверждению изолирующих устройств |
|
ISO 14644-8 |
|
|
Классификация чистоты воздуха по концентрации химических веществ (air cleanliness by chemical concentration, ACC) |
Стандарт ANSI от 2013 г. |
Классификация воздушно-молекулярного загрязнения (airborne molecular contamination, AMC) в чистых помещениях и контролируемых средах |
|
ISO 14644-9 |
|
|
Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц |
Стандарт ANSI от 2012 г. |
Классифицирует уровни чистоты на твердых поверхностях путем определения концентрации частиц в чистых помещениях и контролируемых средах |
|
ISO 14644-10 |
|
|
Классификация чистоты поверхности по концентрации химических веществ |
Стандарт от 2013 г. |
Система классификации чистоты поверхностей в чистых помещениях относительно наличия химических соединений/элементов |
|
ISO/DIS 14644-13 |
|
|
Очистка поверхностей для достижения определенных уровней чистоты с точки зрения частицы и химических классификаций |
DIS, февраль 2016 г. |
Требования к очистке поверхностей чистых помещений, материалов и оборудования |
|
ISO/FDIS 14644-14 |
|
|
Оценка пригодности к использованию оборудования путем определения концентрации взвешенных в воздухе частиц |
FDIS, май 2016 г. |
Метод оценки пригодности к использованию оборудования в чистых помещениях и контролируемых средах |
|
ISO/DIS 14644-15 |
|
|
Оценка пригодности к использованию оборудования и материалов путем определения концентрации взвешенных в воздухе химических частиц |
DIS, апрель 2016 г. |
Требования и рекомендации для оценки химической чистоты воздуха в оборудовании |